真空科学与技术丛书:真空镀膜
- 作者
- 李云奇
- 语言
- 简体中文
- 电子书格式
- epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
- 下载次数
- 7255
- 更新日期
- 2023-08-14
- 运行环境
- PC/Windows/Linux/Mac/IOS/iPhone/iPad/iBooks/Kindle/Android/安卓/平板
内容简介
《真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。《真空镀膜》具有权威性、实用性和通用性。
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