纳米集成电路制造工艺(第2版)

纳米集成电路制造工艺(第2版)

作者
张汝京
语言
简体中文
出版社
清华大学出版社 版次:第2版
出版日期
2017年1月1日
品牌
清华大学出版社
纸书页数
802页
电子书格式
epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
文件大小
48392 KB
下载次数
9038
更新日期
2023-07-12
运行环境
PC/Windows/Linux/Mac/IOS/iPhone/iPad/iBooks/Kindle/Android/安卓/平板
内容简介

《纳米集成电路制造工艺(第2版)》共19章,涵盖先进集成电路工艺的发展史,集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化,器件参数与工艺相关性,DFM(Design for Manufacturing),集成电路检测与分析、集成电路的可靠性,生产控制,良率提升,芯片测试与芯片封装等内容。再版时加强了半导体器件方面的内容,增加了先进的FinFET、3D NAND存储器、CMOS图像传感器以及无结场效应晶体管器件与工艺等内容。

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