纳米集成电路制造工艺(第2版)

作者: 张汝京
语言: 简体中文
出版社: 清华大学出版社版次：第2版
出版日期: 2017年1月1日
品牌: 清华大学出版社
纸书页数: 802页
电子书格式: epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
文件大小: 48392 KB
下载次数: 8792
更新日期: 2023-07-12
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内容简介

《纳米集成电路制造工艺（第2版）》共19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufacturing），集成电路检测与分析、集成电路的可靠性，生产控制，良率提升，芯片测试与芯片封装等内容。再版时加强了半导体器件方面的内容，增加了先进的FinFET、3D NAND存储器、CMOS图像传感器以及无结场效应晶体管器件与工艺等内容。

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