半导体集成电路制造技术（精装版）

半导体集成电路制造技术（精装版）

作者
张亚非 等
语言
简体中文
出版社
高等教育出版社 版次：第1版
出版日期
2006年6月1日
品牌
高等教育出版社有限公司
纸书页数
573页
电子书格式
epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
文件大小
69324 KB
下载次数
5354
更新日期
2023-06-13
运行环境
PC/Windows/Linux/Mac/IOS/iPhone/iPad/iBooks/Kindle/Android/安卓/平板
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内容简介

《半导体集成电路制造技术》半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂、微影光刻、金属化处理、封装与测试、生产集成与自动化等工艺整合，讲解集成电路产业技术。本书可作为大专院校微电子学和半导体专业本科生的教材，也可供有关专业工程技术人员阅读参考。

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