纳米集成电路制造工艺

纳米集成电路制造工艺

作者
张汝京
语言
简体中文
出版社
清华大学出版社 版次：第1版
出版日期
2014年7月1日
品牌
清华大学出版社
纸书页数
433页
电子书格式
epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
文件大小
123789 KB
下载次数
7865
更新日期
2023-04-17
运行环境
PC/Windows/Linux/Mac/IOS/iPhone/iPad/iBooks/Kindle/Android/安卓/平板
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内容简介

本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（DesignforManufacturing），集成电路检测与分析、集成电路的可靠性，生产控制，良率提升，芯片测试与芯片封装等项目和课题。国内从事半导体产业的科研工作者、技术工作者和研究生可使用本书作为教科书或参考资料。

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