集成电路制造工艺与工程应用
- 作者
- 温德通
- 语言
- 简体中文
- 电子书格式
- epub,pdf,mobi,azw3,txt,fb2,djvu
- 下载次数
- 3888
- 更新日期
- 2023-08-06
- 运行环境
- PC/Windows/Linux/Mac/IOS/iPhone/iPad/iBooks/Kindle/Android/安卓/平板
内容简介
本书以实际应用为出发点，对集成电路制造的主流工艺技术进行了逐一介绍，例如应变硅技术、HKMG技术、SOI技术和FinFET技术，然后从工艺整合的角度，通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，例如隔离技术的发展、硬掩膜版工艺技术、LDD工艺技术、Salicide工艺技术、ESD IMP工艺技术、AL和Cu金属互连。然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中，通过实例让读者能快速的掌握具体工艺技术的实际应用。专家推荐 写作缘由与编写过程 致谢
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